Oprava xxxxxxxx Xxxxxx x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2018/1922 ze xxx 10. října 2018, xxxxxx xx mění xxxxxxxx Xxxx (ES) x. 428/2009, xxxxxx xx zavádí xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx kontrolu xxxxxx, přepravy, xxxxxxxxxxxxxxx x xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx užití
(Úřední věstník Xxxxxxxx unie X 319 xx xxx 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Xxxxxx 129, xxxxxxx 3X001.x., xxxx 3 x 4: xxxxxxxx se zarovnání xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx konstruovaná xxx xxxxxx masek, xxxxx mají xxxxxxx xxxx vlastnosti:
|
a.
|
využívají xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx paprsku, xxxxxxxxx paprsku xxxx „xxxxxxxxxx“ paprsku; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku x xxxxx v xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (FWHM)) xxxxx xxx 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx xxxxx než 17 nm (střed + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxxxxx xxxxxxx menší xxx 23 nm (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx pro xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx xxxxxxx metod xxxxxxx xxxxxx, která mají xxxxxxx tyto vlastnosti:
|
a.
|
mají xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx paprsku xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx než 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx být:
|
„3.
|
Zařízení speciálně xxxxxxxxxxxx xxx výrobu xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx vlastnosti:
|
a.
|
využívají xxxxxxxxxxxxx zaostřeného elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx paprsku xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x šířce x xxxxxxxx xxxxxx (full-width xx half xxxxxxx (XXXX)) menší xxx 65 xx x xxxxxxxx obrazu menší xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx překrytí xxxxx druhou xxxxxxx xxxxx než 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx xxxxxxx metod xxxxxxx xxxxxx, která xxxx všechny tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxx 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 sigma);“.
|
|
|
|
|
