Xxxxxx xxxxxxxx Xxxxxx x přenesené pravomoci (XX) 2018/1922 xx xxx 10.&xxxx;xxxxx 2018, xxxxxx xx xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, kterým xx xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, zprostředkování x xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxx
(Xxxxxx xxxxxxx Xxxxxxxx xxxx L 319 xx xxx 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Strana 129, xxxxxxx 3X001.x., xxxx 3 a 4: xxxxxxxx xx zarovnání xxxx:
xxxxx:
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx výrobu xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx vlastnosti:
a.
|
využívají xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx paprsku nebo „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
1.
|
xxxxx paprsku x xxxxx v xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx než 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 nm (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx masky xxxxxx vrstvou xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx pro xxxxxxxxxx součástek za xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, která xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx elektronový xxxxxxx; a
|
b.
|
mají xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; nebo
|
2.
|
chyba xxxxxxxx xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx xxx:
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx pro výrobu xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx zaostřeného xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx paprsku xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
1.
|
xxxxx xxxxxxx x šířce x xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx x xxxxxxxx obrazu menší xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
3.
|
xxxxx překrytí xxxxx druhou xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (střed + 3 xxxxx);
|
4.
|
xxxxxxxx konstruovaná xxx xxxxxxxxxx součástek xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx menší xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“.
|
|
|
|
|