Xxxxxx xxxxxxxx Komise x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2018/1922 ze xxx 10.&xxxx;xxxxx 2018, xxxxxx xx mění xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, kterým xx xxxxxx režim Xxxxxxxxxxxx pro kontrolu xxxxxx, přepravy, zprostředkování x xxxxxxxx zboží xxxxxxx užití
(Úřední xxxxxxx Xxxxxxxx xxxx L 319 xx xxx 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Strana 129, xxxxxxx 3X001.x., xxxx 3 x 4: xxxxxxxx se zarovnání xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx mají všechny xxxx vlastnosti:
|
a.
|
využívají vychylovaného xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx paprsku, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx než 65 xx a xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (střed + 3 sigma); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx překrytí masky xxxxxx vrstvou menší xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxx přímého xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx vlastnosti:
|
a.
|
mají xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx některou x xxxxxx vlastností:
|
1.
|
minimální xxxxxxxx xxxxxxx nejvýše 15 nm; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx než 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx xxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx mají xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx paprsku xxxx „laserového“ paprsku; x
|
|
x.
|
xxxx některou x xxxxxx vlastností:
|
1.
|
stopa xxxxxxx x xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx xxx 65 nm x xxxxxxxx xxxxxx menší xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); nebo
|
|
3.
|
chyba překrytí xxxxx druhou xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (střed + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx součástek xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx paprsek; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxx 27 nm (xxxxxxx hodnota + 3 xxxxx);“.
|
|
|
