Oprava nařízení Komise x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2019/2199 xx xxx 17. xxxxx 2019, xxxxxx xx xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) č. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx xxxxx Společenství xxx xxxxxxxx xxxxxx, přepravy, xxxxxxxxxxxxxxx a tranzitu xxxxx xxxxxxx xxxxx
( Xxxxxx xxxxxxx Xxxxxxxx xxxx L 338 xx xxx 30. xxxxxxxx 2019 )
Xxxxxx 129, xxx x xx xxxxxxxxx takto:
|
„f.
|
litografická xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx x xxxxxxxxx xxxx xxxxxxxxx a xxxxxxx xxxxxxxx xx xxxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxx xxxxxxxxxxxx xxxxx, xxxxx mají některou x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxx xxxxx xxxxxxxxxx xxxxxx xxxxxx xxx 193 xx; xxxx
|
|
x.
|
xxxxxxxxx exponovat xxxxxxx x ‚velikostí xxxxxxxxxx rozlišitelného xxxxx‘ (XXX) 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxxx poznámka: ‚Xxxxxxxx xxxxxxxxxx rozlišitelného xxxxx‘ se vypočítá xxxxx xxxxxx:  |
|
|
2.
|
vybavení xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx struktury x xxxxxxxxx 45 xx xxxx menší;
Poznámka: Xxxxxxx 3B001.f.2. xxxxxxxx:
|
—
|
xxxxxxxxxxxxxx xxxxxxx nástroje
|
|
—
|
nástroje pro xxxxxx za xxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx litografii xxxxxxxxx „Xxxx xxx xxxxx“ (X-XXX)
|
|
|
3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, která xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, iontového xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ paprsku; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 nm (xxxxx + 3 xxxxx); nebo
|
|
3.
|
chyba xxxxxxxx xxxxx xxxxxx vrstvou xxxxx xxx 23 xx (střed + 3 sigma);
|
|
|
|
4.
|
zařízení xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx použití metod xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx paprsek; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx velikost paprsku xxxxxxx 15 nm; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“
|
|
|
|
