Xxxxxx xxxxxxxx Xxxxxx x přenesené xxxxxxxxx (XX) 2019/2199 xx xxx 17. xxxxx 2019, xxxxxx se xxxx nařízení Xxxx (XX) x. 428/2009, xxxxxx se zavádí xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxx, přepravy, xxxxxxxxxxxxxxx a xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx užití
( Xxxxxx xxxxxxx Evropské xxxx X 338 xx xxx 30. xxxxxxxx 2019 )
Xxxxxx 129, bod x xx xxxxxxxxx takto:
|
„f.
|
litografická xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx x xxxxxxxxx xxxx xxxxxxxxx a xxxxxxx zařízení na xxxxxxxxxx xxxxxxxx polovodičů xx použití xxxxxxxxxxxxx xxxx rentgenových metod, xxxxx xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxx xxxxx xxxxxxxxxx xxxxxx xxxxxx xxx 193 xx; xxxx
|
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxx x ‚xxxxxxxxx xxxxxxxxxx rozlišitelného xxxxx‘ (XXX) 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxxx xxxxxxxx: ‚Xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ xx vypočítá xxxxx xxxxxx:  |
|
|
2.
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx litografii xxxxxxx vyrábět xxxxxxxxx x xxxxxxxxx 45 xx nebo menší;
Poznámka: Xxxxxxx 3X001.x.2. xxxxxxxx:
|
—
|
xxxxxxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxx xx xxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx „Xxxx xxx xxxxx“ (X-XXX)
|
|
|
3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „laserového“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx některou z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx x xxxxxxxx maxima (full-width xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx než 65 xx a xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (střed + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx použití xxxxx xxxxxxx zápisu, která xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx paprsek; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 nm; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx hodnota + 3 xxxxx);“
|
|
|
|
