Animace načítání

Stránka se připravuje...


Na co čekáte? Nečekejte už ani minutu.
Získejte přístup na tento text ještě dnes. Kontaktujte nás a my Vám obratem uděláme nabídku pro Vás přímo na míru.

Xxxxxx nařízení Komise x xxxxxxxxx pravomoci (XX) 2018/1922 ze xxx 10.&xxxx;xxxxx 2018, xxxxxx se xxxx xxxxxxxx Rady (XX) x. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, zprostředkování x xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx užití

(Úřední xxxxxxx Xxxxxxxx xxxx X 319 xx dne 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)

Xxxxxx 129, xxxxxxx 3B001.f., xxxx 3 a 4: xxxxxxxx xx xxxxxxxxx xxxx:

xxxxx:

„3.

Xxxxxxxx speciálně xxxxxxxxxxxx xxx výrobu masek, xxxxx mají xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:

x.

xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x

x.

xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:

1.

xxxxx xxxxxxx x xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (full-width xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx a xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (střed + 3 sigma); xxxx

2.

xxxxxxxxx;

3.

xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx vrstvou xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);

4.

xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx za xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:

x.

xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x

x.

xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:

1.

xxxxxxxxx xxxxxxxx paprsku xxxxxxx 15 xx; xxxx

2.

xxxxx xxxxxxxx xxxxx než 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“,

xx xxx:

„3.

Xxxxxxxx speciálně xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, která mají xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:

x.

xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „laserového“ paprsku; x

x.

xxxx xxxxxxxx x xxxxxx vlastností:

1.

stopa xxxxxxx x šířce x xxxxxxxx maxima (full-width xx xxxx maximum (XXXX)) xxxxx xxx 65 nm a xxxxxxxx obrazu xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); nebo

2.

nevyužito;

3.

chyba xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 sigma);

4.

zařízení xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx součástek xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx zápisu, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:

x.

xxxx vychylovaný xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x

x.

xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:

1.

xxxxxxxxx velikost paprsku xxxxxxx 15 xx; xxxx

2.

xxxxx xxxxxxxx menší xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“.