Xxxxxx nařízení Komise x xxxxxxxxx pravomoci (XX) 2018/1922 ze xxx 10.&xxxx;xxxxx 2018, xxxxxx se xxxx xxxxxxxx Rady (XX) x. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, zprostředkování x xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx užití
(Úřední xxxxxxx Xxxxxxxx xxxx X 319 xx dne 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Xxxxxx 129, xxxxxxx 3B001.f., xxxx 3 a 4: xxxxxxxx xx xxxxxxxxx xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx speciálně xxxxxxxxxxxx xxx výrobu masek, xxxxx mají xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (full-width xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx a xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (střed + 3 sigma); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx vrstvou xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx za xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx paprsku xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx než 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx xxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx speciálně xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, která mají xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „laserového“ paprsku; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx vlastností:
|
1.
|
stopa xxxxxxx x šířce x xxxxxxxx maxima (full-width xx xxxx maximum (XXXX)) xxxxx xxx 65 nm a xxxxxxxx obrazu xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); nebo
|
|
3.
|
chyba xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (xxxxx + 3 sigma);
|
|
4.
|
zařízení xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx součástek xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx zápisu, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx velikost paprsku xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx menší xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“.
|
|
|
|
|
