Oprava xxxxxxxx Xxxxxx x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2018/1922 ze xxx 10.&xxxx;xxxxx 2018, xxxxxx xx xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx režim Xxxxxxxxxxxx pro kontrolu xxxxxx, xxxxxxxx, zprostředkování x tranzitu xxxxx xxxxxxx užití
(Úřední věstník Xxxxxxxx xxxx X 319 ze dne 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Strana 129, xxxxxxx 3X001.x., body 3 x 4: xxxxxxxx xx xxxxxxxxx xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx konstruovaná xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx mají xxxxxxx xxxx vlastnosti:
|
a.
|
využívají vychylovaného xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx paprsku nebo „xxxxxxxxxx“ paprsku; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx v xxxxxxxx xxxxxx (full-width at xxxx xxxxxxx (FWHM)) xxxxx než 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx menší než 17 xx (střed + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxxxxx vrstvou menší xxx 23 nm (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx konstruovaná xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx xxxxxxx metod xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají některou x xxxxxx vlastností:
|
1.
|
minimální xxxxxxxx xxxxxxx nejvýše 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx menší než 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx být:
|
„3.
|
Zařízení xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx zaostřeného xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx paprsku xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx v xxxxxxxx xxxxxx (full-width xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx než 65 nm a xxxxxxxx xxxxxx menší xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx než 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx zpracování součástek xx xxxxxxx metod xxxxxxx zápisu, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 nm; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx překrytí menší xxx 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“.
|
|
|
