Xxxxxx nařízení Komise x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2018/1922 xx xxx 10.&xxxx;xxxxx 2018, xxxxxx se mění xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx x xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxx
(Xxxxxx xxxxxxx Xxxxxxxx unie X 319 ze xxx 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Strana 129, xxxxxxx 3X001.x., body 3 a 4: xxxxxxxx se xxxxxxxxx xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx speciálně konstruovaná xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx vlastnosti:
|
a.
|
využívají xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku o xxxxx v polovině xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (FWHM)) xxxxx než 65 xx a xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 nm (střed + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx vrstvou xxxxx xxx 23 nm (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx pro xxxxxxxxxx součástek za xxxxxxx metod xxxxxxx xxxxxx, xxxxx mají xxxxxxx tyto vlastnosti:
|
a.
|
mají xxxxxxxxxxx zaostřený elektronový xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx paprsku xxxxxxx 15 xx; nebo
|
|
2.
|
chyba xxxxxxxx menší xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx být:
|
„3.
|
Zařízení xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx pro xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto vlastnosti:
|
a.
|
využívají xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx některou x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku x šířce v xxxxxxxx xxxxxx (full-width xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) menší xxx 65 xx x xxxxxxxx obrazu menší xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (střed + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx konstruovaná xxx xxxxxxxxxx součástek xx xxxxxxx metod xxxxxxx zápisu, která xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx paprsek; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx menší xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 sigma);“.
|
|
|
