Oprava xxxxxxxx Xxxxxx x přenesené xxxxxxxxx (XX) 2018/1922 ze xxx 10.&xxxx;xxxxx 2018, xxxxxx se mění xxxxxxxx Rady (ES) x. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, zprostředkování x xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx užití
(Úřední xxxxxxx Xxxxxxxx xxxx X 319 xx xxx 14.&xxxx;xxxxxxxx 2018)
Strana 129, xxxxxxx 3X001.x., body 3 x 4: xxxxxxxx se xxxxxxxxx xxxx:
xxxxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx masek, xxxxx mají všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx vychylovaného xxxxxxxxxxx elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx paprsku o xxxxx x polovině xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx x xxxxxxxx xxxxxx menší xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx masky xxxxxx vrstvou menší xxx 23 xx (xxxxx + 3 xxxxx);
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx součástek xx xxxxxxx xxxxx přímého xxxxxx, xxxxx mají xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx paprsku xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“,
|
|
|
|
|
xx xxx:
|
„3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx výrobu xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx elektronového xxxxxxx, xxxxxxxxx paprsku xxxx „xxxxxxxxxx“ paprsku; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx vlastností:
|
1.
|
stopa paprsku x šířce v xxxxxxxx maxima (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx xxx 65 xx a xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (střed + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx součástek xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx paprsku xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx menší xxx 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“.
|
|
|
