Xxxxxx xxxxxxxx Xxxxxx x přenesené xxxxxxxxx (XX) 2019/2199 xx xxx 17. xxxxx 2019, xxxxxx xx xxxx xxxxxxxx Xxxx (XX) x. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx xxxxx Xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxx, přepravy, xxxxxxxxxxxxxxx x xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxx
( Xxxxxx xxxxxxx Xxxxxxxx xxxx X 338 xx xxx 30. xxxxxxxx 2019 )
Xxxxxx 129, xxx x xx xxxxxxxxx xxxxx:
|
„x.
|
xxxxxxxxxxxx xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx x xxxxxxxxx xxxx krokovací x xxxxxxx zařízení na xxxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxx xxxxxxxxxxxx xxxxx, xxxxx mají některou x těchto vlastností:
|
a.
|
vlnová xxxxx světelného xxxxxx xxxxxx než 193 xx; xxxx
|
|
x.
|
xxxxxxxxx exponovat xxxxxxx x ‚velikostí xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ (XXX) 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxxx xxxxxxxx: ‚Xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxxx xxxxx‘ se xxxxxxxx xxxxx xxxxxx:  |
|
|
2.
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx struktury x velikosti 45 xx nebo xxxxx;
Xxxxxxxx: Xxxxxxx 3X001.x.2. xxxxxxxx:
|
—
|
xxxxxxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxx xx xxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxxxxxx litografii
|
|
—
|
nástroje xxx xxxxxxxx litografii xxxxxxxxx „Xxxx xxx xxxxx“ (X-XXX)
|
|
|
3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx výrobu xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx zaostřeného xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx paprsku xxxx „laserového“ paprsku; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x šířce v xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx maximum (XXXX)) xxxxx xxx 65 nm x xxxxxxxx obrazu xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx xxxxxxxx xxxxx druhou vrstvou xxxxx než 23 xx (střed + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx konstruovaná xxx zpracování xxxxxxxxx xx použití metod xxxxxxx zápisu, která xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx vychylovaný zaostřený xxxxxxxxxxx xxxxxxx; a
|
|
b.
|
mají xxxxxxxx z těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx menší xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“
|
|
|
|
