Oprava xxxxxxxx Komise x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2019/2199 xx xxx 17. října 2019, xxxxxx xx xxxx xxxxxxxx Rady (XX) x. 428/2009, xxxxxx xx xxxxxx xxxxx Společenství xxx xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx x xxxxxxxx xxxxx xxxxxxx užití
( Xxxxxx věstník Xxxxxxxx xxxx X 338 xx dne 30. xxxxxxxx 2019 )
Strana 129, xxx x xx nahrazuje takto:
|
„f.
|
litografická xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx x krokovací xxxx krokovací x xxxxxxx zařízení xx xxxxxxxxxx xxxxxxxx polovodičů xx xxxxxxx fotooptických xxxx xxxxxxxxxxxx xxxxx, xxxxx mají xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxx xxxxx xxxxxxxxxx zdroje xxxxxx než 193 xx; xxxx
|
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxx x ‚xxxxxxxxx xxxxxxxxxx rozlišitelného xxxxx‘ (XXX) 45 xx xxxx xxxxx;
Xxxxxxxxx xxxxxxxx: ‚Xxxxxxxx nejmenšího rozlišitelného xxxxx‘ se xxxxxxxx xxxxx xxxxxx:  |
|
|
2.
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx xxxxxxxxx x xxxxxxxxx 45 xx nebo xxxxx;
Xxxxxxxx: Xxxxxxx 3X001.x.2. xxxxxxxx:
|
—
|
xxxxxxxxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx pro xxxxxx xx xxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx nanotiskovou litografii
|
|
—
|
nástroje xxx tiskovou litografii xxxxxxxxx „Step xxx xxxxx“ (X-XXX)
|
|
|
3.
|
Xxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxx pro výrobu xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, iontového paprsku xxxx „xxxxxxxxxx“ paprsku; x
|
|
x.
|
xxxx některou x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x xxxxx x xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx xxxx xxxxxxx (XXXX)) xxxxx než 65 nm x xxxxxxxx xxxxxx xxxxx xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); nebo
|
|
3.
|
chyba překrytí xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx xxx 23 xx (střed + 3 xxxxx);
|
|
|
|
4.
|
xxxxxxxx xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx xxxxxxx xxxxx xxxxxxx xxxxxx, která xxxx všechny xxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x těchto xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxx xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx xxxxxxxx menší xxx 27 nm (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“
|
|
|
|
