Xxxxxx xxxxxxxx Xxxxxx x xxxxxxxxx xxxxxxxxx (XX) 2019/2199 xx xxx 17. xxxxx 2019, xxxxxx xx xxxx nařízení Xxxx (XX) x. 428/2009, xxxxxx se zavádí xxxxx Xxxxxxxxxxxx pro xxxxxxxx xxxxxx, xxxxxxxx, xxxxxxxxxxxxxxx x xxxxxxxx xxxxx dvojího xxxxx
( Xxxxxx xxxxxxx Xxxxxxxx xxxx L 338 xx xxx 30. xxxxxxxx 2019 )
Xxxxxx 129, xxx f xx xxxxxxxxx takto:
|
„f.
|
litografická xxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxxxx a xxxxxxxxx xxxx xxxxxxxxx a xxxxxxx zařízení xx xxxxxxxxxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xx xxxxxxx fotooptických xxxx rentgenových xxxxx, xxxxx mají některou x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxxxx xxxxx xxxxxxxxxx zdroje xxxxxx xxx 193 xx; xxxx
|
|
x.
|
xxxxxxxxx xxxxxxxxx xxxxxxx x ‚velikostí xxxxxxxxxx rozlišitelného prvku‘ (XXX) 45 nm xxxx xxxxx;
Xxxxxxxxx poznámka: ‚Xxxxxxxx xxxxxxxxxx rozlišitelného xxxxx‘ se vypočítá xxxxx xxxxxx:  |
|
|
2.
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx litografii xxxxxxx xxxxxxx struktury x velikosti 45 xx nebo xxxxx;
Xxxxxxxx: Xxxxxxx 3X001.x.2. xxxxxxxx:
|
—
|
xxxxxxxxxxxxxx xxxxxxx nástroje
|
|
—
|
nástroje pro xxxxxx xx xxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxx
|
|
—
|
xxxxxxxx xxx xxxxxxxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx „Step xxx xxxxx“ (X-XXX)
|
|
|
3.
|
Xxxxxxxx speciálně xxxxxxxxxxxx xxx xxxxxx xxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto vlastnosti:
|
a.
|
využívají xxxxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxx xxxxxxxxxxxxx xxxxxxx, xxxxxxxxx xxxxxxx xxxx „xxxxxxxxxx“ xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx některou z xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxx xxxxxxx x šířce x xxxxxxxx xxxxxx (xxxx-xxxxx xx half xxxxxxx (XXXX)) xxxxx než 65 nm x xxxxxxxx xxxxxx menší xxx 17 xx (xxxxx + 3 xxxxx); xxxx
|
|
3.
|
xxxxx překrytí xxxxx xxxxxx xxxxxxx xxxxx než 23 xx (xxxxx + 3 sigma);
|
|
|
|
4.
|
zařízení konstruovaná xxx xxxxxxxxxx xxxxxxxxx xx použití xxxxx xxxxxxx xxxxxx, xxxxx xxxx xxxxxxx tyto xxxxxxxxxx:
|
x.
|
xxxx xxxxxxxxxxx zaostřený xxxxxxxxxxx xxxxxxx; x
|
|
x.
|
xxxx xxxxxxxx x xxxxxx xxxxxxxxxx:
|
1.
|
xxxxxxxxx velikost paprsku xxxxxxx 15 xx; xxxx
|
|
2.
|
xxxxx překrytí menší xxx 27 xx (xxxxxxx xxxxxxx + 3 xxxxx);“
|
|
|
|
